⊙记者 李兴彩 ○编辑 祝建华
只有1.5毫米大小的智能灰尘、微型AI杀人蜂（无人机）、精巧的AirPods Pro，所有这一切的高科技产品和新应用，都离不开一个小器件MEMS智能传感器。11月24日，第三届中国MEMS智能传感器产业发展大会在安徽省蚌埠市举行。在本次大会上，来自苏州明（苏州固锝参股子公司）、大立科技、赛迪顾问等的业内人士介绍了MEMS智能传感器的广阔市场前景。
瞄准产业机遇，安徽省将MEMS智能传感器作为半导体产业发展的重点。在本次大会上，安徽省智能传感器产业创新联盟举行了成立仪式，拥有华东光电集成器件研究所、凯盛科技等MEMS研究所企业，蚌埠市已经成为中国三大传感器研发制造基地之一。
千亿级市场 地方政府争相布局
MEMS传感器正被广泛应用于各类智能终端、智能汽车、生物医疗等众多领域，需求量与日俱增。清华大学副校长尤政认为，我国MEMS产业正在迎来发展机遇。
小身材大市常赛迪顾问副总裁李珂以汽车领域为例介绍，预计到2020年，中国的汽车电子市场规模将超过9000亿元，其中传感器的市场规模已经接近2000亿元；未来几年，汽车用传感器市场将保持2位数增长，迅速达到4000亿元规模。
“MEMS智能传感器是一个非常重要的电子信息产业门类，也是我们所确定的五大高端芯片产业之一，我们要把MEMS智能传感器作为重点来发展。”国家集成电路产业投资基金（简称“大基金”）总裁丁文武在致辞中透露。他介绍，近几年，我国MEMS智能传感器连续保持年均15%至20%的增长率。
安徽多措并举加快智能传感器发展。在本次论坛上，安徽省智能传感器产业创新联盟举行了成立仪式，中科铱航公司和经开区管委会签约基于5G的智慧交通大数据平台项目等四个重大项目也进行了现场签约。
据介绍，依托华东光电集成器件研究所（隶属中国兵器工业集团）、凯盛科技等一批智能传感器研发设计制造企业，蚌埠市已经成为中国三大传感器研发制造基地之一，成为安徽省唯一同时拥有集成电路及MEMS晶圆生产线的城市。
看好产业前景，多地积极布局智能传感器产业。今年8月，重庆市传感器特色产业基地揭牌，重庆已经形成以川仪股份、中移物联网等为代表的智能传感器产业集群。10月份，郑州市提出将在高新区打造一个3至4平方公里的中国(郑州)智能传感谷。陕西省也成立了传感器产业创新战略联盟。
产业链初形成 上市公司多有突破
得益于消费电子、军工等需求推动，MEMS传感器正在迎来更快的发展，相关上市公司也开始崭露头角。
“除了军工应用外，汽车、消费电子、环境感知可能将三分天下。”在本次论坛上，尤政介绍，传统汽车中有200多个传感器，其中80%都是由MEMS工艺来实现的；新能源车减少了燃烧相关传感器，但增加了更多的电子系统传感器，其成本占比更高。
“中国的MEMS产业链已经初步形成。”苏州明副总裁钱春华介绍了中国MEMS产业现状。在传感器设计领域，除了苏州明，他还提到了瑞声科技、歌尔股份、敏芯股份、美新半导体、矽睿科技等。
苏州固锝近日在接受调研时表示，苏州明持续导入新客户，新产品硅麦克风已经批量出货。记者注意到，敏芯股份申请科创板上市已进入问询阶段，公司本次公开发行拟融资7.07亿元。
钱春华介绍，在MEMS传感器制造环节，国内相关公司有中芯国际、华虹宏力、耐威科技、华润微电子，苏州固锝、华天科技、长电科技等则具有相关封装技术。
此外，部分初创公司、研究所已经峥嵘初现。比如，北京久好点子的压力传感器已广泛应用到汽车、工业等领域。拥有独特的SOI体硅工艺，华东光电集成器件研究所研发了一系列的产品，广泛应用于车辆导航、姿态控制、平台稳定等方面。在本次大会上，其发布了低成本MEMS陀螺仪，大量程、耐过载MEMS陀螺仪等多款产品。
