日本电子零组件厂从家电转移到手机与汽车零组件后，积极投入微机电（MEMS）传感器研发，推出各种超小型与高精度的传感器，扩大传感器的应用；随物联网（IoT）概念兴起，传感器在物联网社会中将扮演更重要的角色。
微机电传感器依用途大致可分成二类：一，运动与方位传感器，如罗盘功能用地磁传感器，运动状态用速度与加速度传感器、倾斜传感器、陀螺仪等，常用在导航系统；二，大气资料传感器，如温度、湿度、压力传感器等，除气象用途外，也可用在医疗保健又或汽车控制用途。
北陆电气工业（HDK）原本便生产多种传感器，随微机电传感器在传感器领域的重要性渐增，北陆电气也转而研发微机电技术，生产微机电传感器，并将传感器与基板等其他零组件、以及必须软体，组成模组一起销售，扩大相关事业。目前该社以超小型湿度传感器为主力产品。
村田制作所（Murata）踏入微机电领域，始自2012年购并前芬兰传感器大厂VTITechnology、改名为Murata ElectronicsOy，接下来开始生产各种运动与方位用途的微机电传感器，用在汽车、医疗保舰电力、生化研究、IT等各种领域。
目前村田强调的微机电传感器，是全球首款表面实装型角加速度传感器，长5.2毫米（mm）、宽2.5毫米、高0.8毫米，可望取代过去的螺丝端子型或圆筒型角加速度传感器，让运动感测系统的设计更为多元。
TDK、Alps电气（Alps Electric）与罗姆半导体（Rohm Semiconductor）的微机电传感器则以压力或湿度感测为主，可感测高度差200毫米等级的微小气压差，足以精确测量高度。这些厂同时积极与运动传感器厂合作，推出结合运动方位感测与气压感测的传感器模组，供智能型手机或穿戴式装置应用。
而Mitsumi电机（Mitsumi Electric）与日本航空电子工业（JAE）等二厂，目前正在积极开发微机电传感器，用于汽车及基础建设市常
